Cum să reduceți contaminarea cu ulei în pompele cu difuzie cu vid înalt-

1. Caracteristici de proiectare și soluții hardware (cel mai important)

Instalați o capcană de ulei de tip-deflector sau umbrelă
Un deflector în stil labirint-între orificiul de evacuare al pompei de difuzie și camera de vid ajută la blocarea vaporilor de ulei să ajungă direct în cameră.

Utilizați o capcană rece (soluția cea mai eficientă)
O capcană rece plasată deasupra pompei condensează vaporii de ulei înainte de a ajunge în cameră. Răcirea poate fi asigurată de azot lichid, apă răcită sau un sistem de refrigerare. Aceasta este una dintre cele mai eficiente moduri de a preveni backstreaming-ul.

Selectați fluide pentru pompe de difuzie cu presiune joasă-vapori-
Folosiți uleiuri pe bază de silicon-de înaltă calitate-, cum ar fi lichidul pentru pompă de difuzie Dow Corning DC-704 sau lichidul pentru pompă de difuzie Dow Corning DC-705. Fluidele cu presiune scăzută de vapori reduc semnificativ riscul de contaminare.

2. Bune practici de operare (deseori trecute cu vederea)

Urmați secvența corectă de pornire-și oprire
Lăsați întotdeauna pompa de difuzie să atingă temperatura de funcționare înainte de a începe pomparea completă. La oprire, opriți mai întâi încălzitorul și lăsați pompa să se răcească înainte de a opri pompa anterior. Pierderea bruscă a pompei pe linia anterioară în timp ce pompa este fierbinte poate provoca o retur severă a uleiului.

Nu aerisiti pompa in timp ce este fierbinte
Admiterea de aer într-o pompă de difuziune fierbinte poate oxida și degrada rapid uleiul pompei, producând contaminanți și crescând riscul de transfer de ulei.

Mențineți o răcire stabilă și adecvată
Debitul adecvat al apei de răcire este esențial. Răcirea slabă reduce eficiența condensării vaporilor și crește probabilitatea ca vaporii de ulei să migreze în amonte.

3. Întreținere și îngrijire de rutină

Înlocuiți regulat uleiul pompei
Nu așteptați până când uleiul devine întunecat sau vâscos. Uleiul îmbătrânit are o presiune de vapori mai mare și este mai predispus la contaminare și retur.

Păstrați interiorul pompei curat
Curățați periodic corpul pompei, ansamblul jetului și deflectoarele. Reziduurile și depunerile de ulei pot fi re-intrarate în fluxul de vapori.

Menține un vid frontal bun
Dacă presiunea din pompa anterioară este prea mare, jetul de vapori devine instabil, ceea ce crește fluxul invers al uleiului.

4. Măsuri avansate pentru aplicații ultra-curate

Instalați o supapă de izolare{0}}în vid
O supapă între cameră și pompa de difuzie permite izolarea completă a sistemului atunci când pompa nu este utilizată, prevenind orice migrare a vaporilor de ulei.

Folosiți pompe fără ulei{0} acolo unde curățenia este esențială
Pentru aplicații precum procesarea semiconductoarelor sau optica de precizie, multe sisteme înlocuiesc pompele de difuzie cu pompe turbomoleculare, precum cele produse de Pfeiffer Vacuum sau Edwards Vacuum, pentru a elimina complet contaminarea cu ulei.